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2채널 박스 소성로(1600℃) 2Channel Furnace
- 지역 : 이천분원
- 모델 : 제작품
- 사양 : - 상용온도 : 1,600℃ 승온속도 3℃/min - 발열체 : Super Kanthal - 단열재 : 세라믹보드 - 크기 : 150(L) × 200(W) × 170(H)mm
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H2소성로 H2 Atmosphere Furnace
- 지역 : 이천분원
- 모델 : 제작품
- 사양 : - 최대 사용온도 : 1,600℃ 승온속도 5℃ - 사용가스 : N₂, N₂/H₂ 혼합가스, Ar - N2/H2 수소 비율 30프로 이하사용 - 내용적 : 200(L) × 200(W) × 170(H) mm
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유도결합플라즈마 질량분석기 Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometer
- 지역 : 오송테크노베이터
- 모델 : NexION 2000
- 사양 : - 인터페이스 : 3중 콘 인터페이스 - 진공시스템 : 진공레벨 1 x 10-6Torr 이하 - 이온광학계 시스템 : 90도 각도로 이온빔이 이온 주입 - 질량분석기 스캔 속도 : > 5,000 amu/sec - 질량범위 : ∼260 m/z - 검출시스템 : 한번의 스캔으로 동시 측정하는 이중 스테이지 이산 전자 멀티 플라이어(DDEM) - 검출시스템 변환시간 : < 0.2 ms - 검출한계 : 원소 ng/L (ppt) 9Be < 1 or better 115In < 0.1 or better - 감도 : 원소 M cps/mg/L 115In > 140 or better 238U > 100 or better
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단결정 성장시스템 Sublimation System for Growing Non Oxide Single Crystal
- 지역 : 이천분원
- 모델 : TA-SUB-2
- 사양 : - 최대 온도 : 2,500℃ - 최대 지름 : ∅100mm - 발열체 : 고순도 그라파이트
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LTCC 부품 소성로 LTCC Sintering Furnace
- 지역 : 이천분원
- 모델 : 제작품
- 사양 : - 상용온도 : 1,200℃ 승온속도 3℃/min - 사용가스 : Air - 크기 : 600(L) × 600(W) × 600(H)mm
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고점도 유/무기 잉크 고정밀 인쇄 시스템 Dispenser
- 지역 : 이천분원
- 모델 : 350PC, SM300DS-S, SuperCMII-V5
- 사양 : - 제어축수 : 3축(X, Y, Z) - 동작속도 : 500mm/sec 이상(X, Y축), 100mm/sec 이상(Z축) - 동작범위 : 300mm(X, Y축), 50~300mm(Z축)
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대면적 엘리베이터 고온 소결로 Large Area Elevator High Temperature Sintering Furnace
- 지역 : 이천분원
- 모델 : SK-EV-1
- 사양 : - 최대 사용온도 : 1,700℃ 승온속도 400 5℃ 1700도 10℃ - 내용적 : 600(W) × 600(D) × 600(H) mm - 전기로 가스 사용X
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레이저펀처 Laser Drilling System
- 지역 : 이천분원
- 모델 : 5330 HE
- 사양 : - 크기 : 533 × 635 mm - 비아 홀 크기 : 최소 Ø 30㎛ - 시스템 정확도 : ± 20㎛ - 레이저 타입 : Diode pumped UV laser
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바스켓밀 15리터 및 슬러리 탈포 시스템 Basket Mill 15L and Defoamation System
- 지역 : 이천분원
- 모델 : BKB-015, 탈포기(제작품)
- 사양 : - 용량 : 15리터 - 분당회전수 : 1,300rpm 이하 - 실시간 탈포 가능 시스템
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바스켓밀 5리터 Bask Mill 5L
- 지역 : 이천분원
- 모델 : BKB-005
- 사양 : - 용량 : 5리터(3리터, 7리터) - 분당회전수 : 2500rpm 이하 - 수직, 수평 블레이드 Zirconia
